合肥芯碁微电子装备股份有限公司机械装配组长卫功文，凭借一颗不服输的“匠心”和敢于同“难题”掰手腕的决心，入选2023年“合肥工匠”名单。
“工作要求我必须对每寸每厘精益求精。”提到光刻机的工作原理，卫功文解释得通俗易懂。“你可以简单理解为，它借助光在基板上进行画图，而精密运动平台则是光刻机的核心部件，只有平台走得准，光刻机才能制作出高精度产品。”
然而光刻机相关工作的难度，还是远超卫功文的想象。比如，超精密直线运动如何保证？图形正确性与YAW值关系，偏差如何调校？……这些难题从卫功文来到车间起，便一直困扰着他，“国内没有经验可用，国外只卖设备，封锁制造技术。”这种无力感让卫功文深有感触，凭借一颗不服输的“匠心”，他想与这些“难题”掰掰手腕。
此后，卫功文带领团队结合对高精度光学系统、标定系统、工件台精密运动系统各部件特性的了解，最终找到对YAW值快速高效不破坏基础整体的调校方法，探索出0.5米至3米长轨道1.2um直线度、1.5um平行度的精密装配和调校技术以及X/Y/Z方向各位置关系精密定位保证，并被国内同行业借鉴规模使用。“我们实现了国产直写光刻机从无到有的技术突破，技术迭代。”
采访中，合肥芯碁微电子装备股份有限公司主要负责人告诉记者，这项技术不仅对公司设备量产装配调校以及后期客户端维修服务起到绝对性的保障作用，还拓展到多机型应用，为公司设备自主国产化试制到量产，奠定了坚实的基础。
·记者 汪涛·
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