日前，2022年第二批安徽省首台（套）重大技术装备名单发布，合肥欣奕华智能机器股份有限公司的彩膜磁控溅射机垂直上下料装载设备入选。该设备主要应用于TFT-LCD等显示面板生产线彩膜磁控溅射镀膜（Sputter）工艺设备的上下料自动化搬运。据